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SMM Calibration Kit

우리 제품은 마이크로파로 정밀한 교정을 가능하게합니다.

이 장치는 4개의 표준과 144개의 로커스로 구성된 높이가 다른 산화 규소 단계에 있는 다양한 금 패드로 구성됩니다.

  • 백 엔드 금속화 (티타늄/금)
  • Ebeam 프론트 엔드는 금속화 원형 금 패드 (직경 : 6μm, 4μm, 2μm, 1μm) 이중층, 티타늄/금 과 접촉합니다. 금은 접촉 영역을 정확한 팁 형태와 더 독립적으로 만드므로 산화 문제없이 더 안정적입니다.
  • 자성 탭으로 확인하는 교정 키트

기판 정보

  • 실리콘 (1-0-0) P type
  • 두께 325-375µm
  • 저항 0.01-3 Ohm.cm